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氩离子聚焦离子束切割抛光系统
> SEM Mill离子束切割抛光系统
SEM Mill离子束切割抛光系统
离子抛光技术通常采用惰性气体氩,通过将氩气离子化后,在电场加速作用下轰击到样品表面,物理溅射轰击的方式对样品表面进行精细抛光处理,满足扫描电镜等表面敏感分析技术制样要求
技术参数
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